bbin宝盈

产品信息
2016.12.05

PMS落尘量测系统

bbin宝盈投入LTPS制程设备 ,目前已有Cass 10 0.1um洁净度的实绩 ,Stocker为制程外围整合的重要角色 ,主要卖力制程与制品的运送与治理 ,其运送物为玻璃卡匣(Cassette) ,因产品特性需维持在高洁净度情况 ,因此在验证洁净度的作法为手持Particle counter进入设备进行量测 ,此作法耗时与费人工 ,为此bbin宝盈开发可自动充电 ,且可在自动模式下进行设备落尘量测的PMS(落尘量测系统) 。

PMS主要搭配Particle counter、振动计、风速计、温湿度计等量测组件 ,集成于玻璃卡匣(Cassette) ,可在Stocker内任一储位安排与量测 ,且与在线产品搬运没有冲突 ,可同时进行产品搬运或数据量测 ,数据透过无线传输至上位治理系统 ,可作为数据剖析及大数据数据治理 ,相较已往需由人工方法携带多种量测仪器 ,且需使设备搬运中止 ,以利量测的作法 ,PMS不可是多元整合的量测总成 ,可穿梭于各式设备 ,进行数据量测 ,提高产能效率的好帮手 。
TOP goTop
WeChat QRcode

偵測到您已關閉Cookie ,为提供最佳体验 ,建议您使用Cookie浏览本网站以便使用本站各项功效

本公司严格 ;つ囊讲⑷繁D母鋈俗柿鲜艿奖 ; 。本公司将按期更新隐私权政策 ,以遵循该个人资料 ;し ,请您参照我们最新版的隐私声明 。本网站使用cookies以提供更好的浏览体验 ,如需了解更多关于本网站如何使用cookies 请按 这里 。
 
网站地图