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产品信息
2019.06.14

AMHS Device Control System - LCS 与 N2P机台整合

N2 Purge(N2P)设备是一种运用在半导厂内的设备机台,FOUP载具填充惰性气体(氮气N2)以降低晶圆氧化及坚持干燥状态稳定FOUP内情况。

bbin宝盈N2 FOUP Stocker系统整合N2P设备,N2P是以嵌入式模式与Stocker介接,一体式嵌入Stocker储位,底层通讯是以SEMI E84 8bit模式,N2P与LCS通讯是以SEMI SECS模式,底层与上位系统皆以SEMI标准开发,易于扩充应用;N2P搭配bbin宝盈自有Stocker设备客制整合后可因应各家差别FOUP type进行Recipe设定,依各家FOUP载具差别,其填充N2的孔位也不尽相同,所以N2P可以依FOUP进行底板置换因应各家FOUP type,LCS可进行FOUP type 绑定,抵达多种FOUP自动填充N2功效。

Control System:
在系统整合方面,bbin宝盈LCS有很强的整合能力可以提供客户良好的上下游系统链接,除监控及纪录N2P状态、温湿度,还可将N2P异常等信息上报MCS,N2P的状态亦可透过MCS客制上报到MES系统。
LCS 与 N2P机台整合

N2P与LCS相同接纳WebApi方法,不直接存取DB来降低程序间的耦合与依赖,有比较大的弹性可扩充,LCS架构稳定下嵌入各式EQ设备都可使用WebApi进行通讯,大大降低程序整合及开发,可快速因应客户需求进行软件调解;经过LCS整合后其相关设备数据亦搜集纪录在LCS系统,便当往后进行大数据剖析,让客户依据大数据剖析调解制程。

bbin宝盈提供高可靠度的软件控制系统LCS,搭配bbin宝盈自家的搬送硬设备,可依客户需求整合各式设备,提供客户最佳的Total Solution。以下为LCS & N2P机台整合的功效:
  1. Manual Purge.(手动充填N2)
  2. Auto Purge.(自动排程充填N2)
  3. Purge Cycle Hours.(循环充填N2)
  4. Purge Overtime Hours.(超时回充N2)
  5. FOUP type setting (FOUP type设定)
  6. N2P status monitor.(N2P状态监控)
  7. N2P Alarm Report.(N2P异常回报)

 
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